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COMELEC S.A. - MODÈLE C20S - La machine compacte de traitement parylène
 
Le 23-01-2019
de Comelec S.A.

Le concept général de la machine compacte C20S est orienté vers une utilisation conviviale et un entretien simplifié. Ces caractéristiques et une consommation minimalisée du dimère en diminuent son coût d’utilisation.

Ses dimensions réduites lui permettent de prendre place sur une table. Cet encombrement restreint constitue un atout économique supplémentaire pour une utilisation en salle blanche où l’espace est limité.

• Utilisation et maintenance très simples
• Idéale pour les tests de laboratoires, les prototypes ou les petites séries
• Consommation économique de parylène grâce aux dimensions réduites de la chambre de déposition
• Convient parfaitement au traitement de wafers jusqu’à un diamètre de 150 mm
• Protection de la pompe par piège cryogénique à l’azote liquide
• Encombrement: L x P x H 1180 x 500 x 750 mm
• Chambre: ∅ 200 x L 210 mm
• Outillage: ∅ 170 x L 188 mm
• Tension d'alimentation: 400 VAC 3 ph + N + PE
• Fréquence / puissance: 50 Hz / 3,5 kW
• Tension commande: 24 VDC
• Capacité charge dimère: 30 g
• Volume pompage: 12 - 25 m3/h
• Poids: 90 kg
• Dimension table ( en option ):
• L x P x H 1300 x 600 x 800 mm
• Certifica CE Comelec

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